尼可尼工程泵設(shè)備泵15UL 20UL  渦流泵  旋渦泵  NIKUNI

真空泵的分類(lèi)-按照性能特點(diǎn)和用途分類(lèi)分為低真空泵尼可尼工程泵設(shè)備泵15UL 20UL 中真空泵高真空泵超高真空泵四種。低真空泵的極限要高于102pa,常見(jiàn)的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。

中真空泵-極限壓力在102~10-1pa的真空泵屬于中真空泵。常見(jiàn)的有羅茨真空泵，多級(jí)噴射式真空泵，多級(jí)螺旋機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。

高真空泵-極限壓力在10-1~10-5 pa的真空泵屬于高真空泵。常見(jiàn)的有各種擴(kuò)散泵以及分子泵等。

超高真空泵-極限壓力低于10-5 pa的真空泵尼可尼工程泵設(shè)備泵15UL 20UL 屬于超高真空泵。超高真空泵主要有各種離子泵、低溫泵等

按照工作原理和結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分為機(jī)械式容積真空泵和射流式真空泵。機(jī)械式容積真空泵靠機(jī)械運(yùn)動(dòng)使泵腔工作容積周期變化來(lái)實(shí)現(xiàn)抽起作用。常見(jiàn)的有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵、這類(lèi)泵中除了機(jī)械增壓泵外一般可以單獨(dú)使用。射流式真空泵沒(méi)有機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件主要靠通過(guò)噴嘴的高速射流來(lái)抽真空。一般有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴(kuò)散泵等 。這類(lèi)泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單工作可靠壽命長(zhǎng)易于維修應(yīng)用比較普遍。

根據(jù)系統(tǒng)對(duì)真空度的要求，選擇相應(yīng)極限真空的泵，一般要求泵的極限真空比系統(tǒng)要求的極限真空高0.5~1個(gè)數(shù)量級(jí)。