在芯片的生產(chǎn)過程中，有一類企業(yè)雖然沒有直接參與，但卻對(duì)整個(gè)行業(yè)技術(shù)的發(fā)展起著關(guān)鍵性作用，它們就是半導(dǎo)體設(shè)備制造商。芯片的制造流程極其復(fù)雜，大致可以分為制備硅片、外延工藝、熱氧化、擴(kuò)散摻雜、離子注入、薄膜制備、光刻、刻蝕、工藝集成等。最廣為人知的荷蘭阿斯麥(ASML)就是主要生產(chǎn)光刻工藝的核心設(shè)備——光刻機(jī)。除此之外，刻蝕機(jī)、薄膜設(shè)備、擴(kuò)散\離子注入設(shè)備、濕法設(shè)備、過程檢測設(shè)備也是必不可少。正是通過這些設(shè)備制造商不斷研發(fā)生產(chǎn)先進(jìn)的設(shè)備，才使得芯片制造的效率效能大幅提高。