從最基本的層面上講,CIS用來將相機鏡頭的光轉換為數字數據,以創建可見的圖像。當波長范圍為400至700nm的可見光光能被聚集在硅襯底的光電二極管(PD)上時,CMOS圖像傳感器的硅表面將接收該光能,從而形成電子-空穴對。
在此過程中生成的電子通過浮動擴散(FD)轉換為電壓,然后再通過模數轉換器(ADC)轉換為數字數據。最后,數據被發送到處理器,以創建可視的數字描述,通常為圖像。
生產這種復雜傳感器需要特定的制造技術,通常分為五類。
1. 深光電二極管形成工藝技術
由于消費者對圖像質量不斷提出更高的需求,導致了業界的競爭加劇,各廠商爭相提高移動CIS中的像素密度和分辨率,這種競爭反過來又進一步加速了CIS工藝技術的發展。為實現更高的圖像質量,像素尺寸需要進一步減小,以便在相同大小的芯片上容納更多的像素。
圖2:光電二極管結構變化以及像素尺寸不斷減小的示意圖。(