真空中的淬火有氣淬和液淬兩種。氣淬即將工件在真空加熱后向冷卻室中充以高純度中性氣體(如氮)進行冷卻。適用于氣淬的有高速鋼和高碳高鉻鋼等馬氏體臨界冷卻速度較低的材料。液淬是將工件在加熱室中加熱后，移至冷卻室中充入高純氮氣并立即送入淬火油槽，快速冷卻。如果需要高的表面質(zhì)量，工件真空淬火和固溶熱處理后的回火和沉淀硬化仍應在真空爐中進行。
真空淬火 專用HD諧波減速機CSF-17-30-2UH真空熱處理是將金屬工件在 1個大氣壓以下(即負壓下)加熱的金屬熱處理工藝。
20世紀20年代末，隨著電真空技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了真空熱處理工藝，當時還僅用于退火和脫氣。由于設備的限制，這種工藝較長時間未能獲得大的進展。60~70年代，陸續(xù)研制成功氣冷式真空熱處理爐、冷壁真空油淬爐和真空加熱高壓氣淬爐等，使真空熱處理工藝得到了新的發(fā)展。在真空中進行滲碳，在真空中等離子場的作用下進行滲碳、滲氮或滲其他元素的技術(shù)進展，又使真空熱處理進一步擴大了應用范圍。
真空熱處理可用于退火、脫氣、固溶熱處理、淬火、回火和沉淀硬化等工藝。在通入適當介質(zhì)后，也可用于化學熱處理。
當前真空高壓氣冷淬火技術(shù)發(fā)展較快，相繼出現(xiàn)了負壓(<1×105Pa)高流率氣冷、加壓(1×105~4×105Pa)氣冷、高壓(5× 105~10×105Pa)氣冷、超高壓一(10×105~20×105Pa)氣冷等新技術(shù)，不但大幅度提高了真空氣冷淬火能力，且淬火后工件表面光亮度好，變形小，還有高效、節(jié)能、無污染等優(yōu)點。
真空淬火 專用HD諧波減速機CSF-17-30-2UH真空高壓氣冷淬火的用途是材料的淬火和回火，不銹鋼和特殊合金的固溶、時效，離子滲碳和碳氮共滲，以及真空燒結(jié)，釬焊后的冷卻和淬火。
用6×105Pa高壓氮氣冷卻淬火時、被冷卻的負載只能是松散型的，高速鋼(W6Mo5Cr4V2)可淬透至70~100mm，高合金熱作模具鋼(如 4Cr5MoSiV)可達25~100mm,金冷作模具鋼(如Cr12)可達80~100mm。
用10×105Pa高壓氮氣冷卻淬火時，被冷卻負載可以是密集型的，比6×105Pa冷卻時負載密度提高約30%~4O%。
用20×105Pa超高壓氮氣或氦氣和氮氣的混合氣冷卻淬火時，被冷卻負載是密集的并可捆綁在一起。其密度較6×105Pa氮氣冷卻時提高80%~150%，可冷卻所有的高速鋼、高合金鋼、熱作工模具鋼及Cr13%的鉻鋼和較多的合金油淬鋼，如較大尺寸的9Mn2V鋼。
真空淬火 專用HD諧波減速機CSF-17-30-2UH具有單獨冷卻室的雙室氣冷淬火爐的冷卻能力優(yōu)于相同類型的單室爐。2×105Pa氮氣冷卻的雙室爐的冷卻效果和4×105Pa的單室爐相當。但運行成本、維修成本低。由于我國基礎(chǔ)材料工業(yè)(石墨、鉬材等)和配套元器件(電動機)等水平有待提高。所以在提高6×105Pa單室高壓真空護質(zhì)量的同時，發(fā)展雙室加壓和高壓氣冷淬火爐比較符合我國的國情。
形狀復雜的較大工件從高溫連續(xù)進行快速冷卻時容易產(chǎn)生變形甚至裂紋。以往可用鹽浴等溫淬火解決。在單室真空高壓氣冷淬火爐中能否進冷等溫淬火呢?圖1為在帶有對流加熱功能的單室高壓氣冷淬火爐中對兩組φ320mm×120mm兩塊疊裝的碳素結(jié)構(gòu)鋼用不同冷卻方式淬火后的對化結(jié)果。圖中一組曲線是在102O℃加熱后，在6×105Pa壓力下連續(xù)用高純氮氣冷卻(風向是上、下相互交替，40s切換一次)的結(jié)果。另一組是對試樣表面、心部進行 370℃時的控制冷卻。從兩組曲線的對比可以看出，心部溫度通過50O℃的時間(半冷時間)只差約2min。從表面進行控制冷卻開始到心部溫度到達 370℃附近，需27min。由此可見，在單室真空高壓氣淬火爐進行等溫氣冷淬火是可行的。
真空滲氮是使用真空爐對鋼鐵零件進行整體加熱、充入少量氣體，在低壓狀態(tài)下產(chǎn)生活性氮原子滲入并向鋼中擴散而實現(xiàn)硬化的;而離子滲氮是靠暉光放電產(chǎn)生的活性N離子轟擊并僅加熱鋼鐵零件表面，發(fā)生化學反應生成核化物實現(xiàn)硬化的。
真空滲氛時，將真空爐排氣至較高真空度0.133Pa(1×10-3Torr)后，將工件升至，530~560℃，同時送入以氨氣為主的，含有活性物質(zhì)的多種復合氣體，并對各種氣體的送入量進行精確控制，爐壓控制在0.667Pa(5Torr)，保溫3~5h后，用爐內(nèi)惰性氣體進行快速冷卻。不同的材質(zhì)，經(jīng)此處理后可得到滲層深為20~80μm、硬度為600~1500HV的硬化層。
真空滲氮有人稱為真空排氣式氮碳共滲，其特點是通過真空技術(shù)，使金屬表面活性化和清凈化。在加熱、保溫、冷卻的整個熱處理過程中，不純的微量氣體被排出，含活性物質(zhì)的純凈復合氣體被送入，使表面層相結(jié)構(gòu)的調(diào)整和控制、質(zhì)量的改善、效率的提高成為可能。經(jīng)X射線衍射分析證實，真空滲氮處理后，滲層中的化合物層是ε單相組織，沒有其他脆性相(如Fe3C、Fe3O4)存在，所以硬度高，韌性好，分布也好。"白層"單相ε化合物層可達到的硬度和材質(zhì)成分有關(guān)。材質(zhì)中含Cr量越高，硬度也呈增加趨勢。Cr13%時，硬度可達到1200HV;含Cr18%(質(zhì)量分數(shù)，余同)時，硬度可達 1500HV;含Cr25%時，硬度可達1700HV。無脆性相的單相ε化合物層的耐磨性比氣體氮碳共滲組織的耐磨性高，抗摩擦、抗熱膠合、抗熔敷、抗熔損性能都很優(yōu)異。但該"白層"的存在對有些模具和零件也有不利之處，易使鍛模在鍛造初期引起龜裂，焊接修補時易生成針孔。真空滲氮還有一個優(yōu)點，就是通過對送入爐內(nèi)的含活化物質(zhì)的復合氣體的種類和量的控制，可以得到幾乎沒有化合物層(白層)，而只有擴散層的組織。其原因可能是在真空爐排氣至 0.l33Pa(1×10-3Torr)后形成的，另一個原因是帶有活性物質(zhì)的復合氣體在短時間內(nèi)向鋼中擴散形成的組織。這種組織的優(yōu)點是耐熱沖擊性、抗龜裂性能優(yōu)異。因而對實施高溫回火的熱作模具，如用高速鋼或4Cr4MoSiV(H13)鋼制模具可以得到表面硬度高、耐磨性好、耐熱沖擊性好、抗龜裂而又有韌性的綜合性能;但僅有擴散層組織時，模具的抗咬合性、耐熔敷、熔損性能不夠好。由于模具或機械零件的服役條件和對性能的要求不一，在進行表面熱處理時，必需調(diào)整表面層的組織和性能。真空滲氮除應用于工模具外，對提高精密齒輪和要求耐磨耐蝕的機械零件以及彈簧等的性能都有明顯效果，可接受處理的材質(zhì)也比較廣泛。
